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压电移相器及其在全息干涉术中的应用

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-10-02 0:03:34 * 浏览: 6
压电移相器及其在全息干涉术中的应用,让我们共同理解。 1.压电移相器移相器是移相干涉仪的重要组成部分。压电移相器由于其高分辨率,响应速度快,易于控制和性能稳定而被广泛使用。但是压电陶瓷也有其缺点,即非线性误差和位移小,这是影响其应用范围的原因。针对这一问题,哈尔滨新明科技有限公司设计开发了一种压电陶瓷(PZT)电压驱动电路,通过采用具有放大特性的柔性铰链结构来驱动相移致动器达到相移的目的。结合光学设备,下位机程序和在软件开发平台上编写的数据处理程序,开发了一套相移控制测量装置。为了有效解决PZT非线性,蠕变特性和磁滞特性对相移精度的影响,该器件采用了由电压位移形成的闭环反馈控制,以实现自适应微米级驱动器的定位控制,从而大大提高了精度。非线性和减少除了外部影响和干扰,相移的测量精度也得到了显着提高。压电移相器由3组压电陶瓷叠层驱动,可用于直径为106mm的透镜,位移行程可达到20um以上。实验证明,压电移相器具有很好的效果,其控制精度可以达到亚纳米水平。它可以大大提高测量度,在相位测量技术中具有广泛的实用价值,并已广泛应用于各种现代干涉仪中。激光平面干涉仪2.压电移相器在全息干涉仪中的应用。在全息干涉术中,需要确定物体的位移和变形的大小和方向,并且需要在实时检测过程中确定物体的位移和变形。立即做出快速判断。这种判断方法有很多,但有些比较麻烦,有些计算很复杂,有些需要特殊的设备,有些似乎很不直观,等等,这带来了很多全息干涉测量带来的不便。压电移相器可以解决以上所有问题。在实时全息干涉术中,为了确定物体的位移和变形的方向,将压电移相器放置在参考光路上。它实际上是一个小镜子,利用压电效应来控制其空间位置。我们使用这种移相器,镜面直径可以达到106mm,控制电压可以在0-120V的范围内来回调整镜面以移动20微米或更大。压电移相器用于改变参考光的光路,并根据此时干涉条纹的移动来判断物体的位移和变形的方向。该方法简单,方便,直观,可以快速,可靠地确定物体位移和变形的方向。判断。